當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC160精密旋涂儀
簡要描述:精密旋涂儀:采用高級PLC 全自動程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好??捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細介紹
產(chǎn)品介紹:
名 稱:精密旋涂儀HC160
型 號:HC160
應(yīng) 用:精密旋涂儀采用高級PLC 全自動程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好??捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
產(chǎn)品概述:
HC160精密旋涂機被設(shè)計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或?qū)?yīng)的,使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機界面操作,簡單易用。勻膠機在材料、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
靈巧型勻膠機設(shè)計標準為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,程控操作,且能夠升級自動點膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出,具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計,進行嵌入式安裝,與手套箱進行配合。
性能參數(shù):
適用晶元尺寸范圍:?5~160mm;
旋涂速度:100~12000rpm;轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-30000rpm/s;
最大旋涂時間:3000s;旋涂時間精度:0.1s;
內(nèi)腔直徑220mm,內(nèi)腔壁采用凹面防濺設(shè)計;
具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
電源輸入:AC200-230V;
產(chǎn)品特點:
設(shè)計緊湊,可放置在手套箱內(nèi);
5英寸彩色觸屏控制,人機界面;
一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔;內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計,有效防濺;
高級PLC全自動程序控制,可編程;
帶真空度安全互鎖檢測功能;帶蓋子安全互鎖檢測功能;
具有電機進膠保護功能;管路易疏通設(shè)計;具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數(shù)自動保存功能。
帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統(tǒng);
可設(shè)置用戶密碼保護功能;
配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;
產(chǎn)品外型尺寸:
358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)
HDPE高分子材料耐腐蝕內(nèi)腔
HDPE高分子內(nèi)腔及載物盤
產(chǎn)品咨詢
郵箱:info@analysis-tech.com
地址:北京市海淀區(qū)建材城中路3號樓程遠大廈B座606
官方微信
公司官網(wǎng)