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簡要描述:HC220可編程旋涂儀/勻膠機,采用高精度工業(yè)伺服電機,配置8英寸人機界面,清晰的編程程序界面設(shè)置,易學易用。適合半導體行業(yè)及科研院所,實驗室級的研究開發(fā)
產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品介紹:
名 稱:可編程精密勻膠機HC220PE
型 號:HC220PE
應(yīng) 用:HC220可編程旋涂儀/勻膠機,采用高精度工業(yè)伺服電機,配置8英寸人機界面,清晰的編程程序界面設(shè)置,易學易用。適合半導體行業(yè)及科研院所,實驗室級的研究開發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。
產(chǎn)品概述:
HC220可編程旋涂儀/勻膠機,采用高級PLC 模塊,工業(yè)級伺服電機,全自動程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
設(shè)備采用工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序,使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中最大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和可重復性。
性能參數(shù):
l 旋涂程序:采用與track設(shè)備類似的程序與設(shè)計,最多可存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒;
l 電機速度:0-10,000rpm;
l 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載);
l 馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm;
l 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm;
l 重復性< 1rpm;
l 工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step;
l 時間設(shè)置精度:0.1sec;
l 支持wafer尺寸1cm-200mm(8"圓晶);
l 旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量);
產(chǎn)品特點:
l 用高級PLC模塊,工業(yè)級伺服電機;
l 8英寸彩色觸屏控制,人機界面;
l HDPE高分子內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;
l內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計,有效防濺;
l可編程寫和存儲100組程序,每組100步;
l帶真空度安全互鎖檢測功能;
l帶蓋子安全互鎖檢測功能;
l帶排廢接口;
l具有電機進膠保護功能;
l管路易疏通設(shè)計;
l具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數(shù)自動保存功能;
l正、反轉(zhuǎn)旋涂方向可自由切換;
l旋涂參數(shù)可設(shè)置循環(huán)執(zhí)行;
l速度-時間曲線實時顯示;
l配置四個自動點膠接口,可升級多路自動點膠系統(tǒng);
l可設(shè)置用戶密碼保護功能;
l配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;
不同尺寸的載物盤
產(chǎn)品外型尺寸:
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)
產(chǎn)品咨詢
郵箱:info@analysis-tech.com
地址:北京市海淀區(qū)建材城中路3號樓程遠大廈B座606
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