當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機(jī)/旋涂儀>HC150PE不銹鋼勻膠機(jī)150PE
簡要描述:不銹鋼勻膠機(jī)HC150P:E可編程勻膠機(jī),采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),高分子HDPE耐腐蝕內(nèi)腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機(jī)及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設(shè)計(jì),美觀大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。 不銹鋼勻膠機(jī)HC150PE:該勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可編程實(shí)現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內(nèi)操作。HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,美觀耐腐蝕,經(jīng)久耐用。
產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品介紹:
名 稱:不銹鋼勻膠機(jī)HC150PE
型 號:HC150PE
應(yīng) 用:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
產(chǎn)品概述:
不銹鋼勻膠機(jī)HC150PE 可編程勻膠機(jī),采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),高分子HDPE耐腐蝕內(nèi)腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機(jī)及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設(shè)計(jì),美觀大方。適合涂膠處理? 5~150mm圓晶尺寸基片。
該勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可編程實(shí)現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內(nèi)操作。HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,美觀耐腐蝕,經(jīng)久耐用。
性能參數(shù):
適用晶元尺寸范圍:? 5~150mm;
旋涂速度:100~12000rpm;
轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-30000rpm/s;
最大旋涂時(shí)間:3000s;
旋涂時(shí)間精度:0.1s;
內(nèi)腔直徑212mm,內(nèi)腔采用凹面防濺設(shè)計(jì);
具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
電源輸入:AC200-230
產(chǎn)品特點(diǎn):
設(shè)計(jì)緊湊,可輕松放置在手套箱內(nèi)使用;
HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,耐腐蝕;
采用分體式結(jié)構(gòu),易清潔和移動;
4.3英寸彩色觸屏控制,易學(xué)易用;
精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù),運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示;
經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),有效防濺;
采用高級PLC程序控制,可編程,實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂;
具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通設(shè)計(jì);
具有真空不足提示及保護(hù)功能,具有斷電后參數(shù)自動保存功能。
可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;
帶真空度安全互鎖檢測功能;
帶一路自動點(diǎn)膠接口,可升級自動點(diǎn)膠系統(tǒng);
HDPE高分子耐腐蝕內(nèi)腔
不同尺寸的載物盤
不銹鋼勻膠機(jī)HC150PE產(chǎn)品外型尺寸:
310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)
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