計(jì)算機(jī)斷層掃描系統(tǒng)檢測(cè)主要用于檢測(cè)高密度和大尺寸物體,應(yīng)用高能量X射線探,需有更高的系統(tǒng)分辨力等等。目前計(jì)算機(jī)斷層掃描系統(tǒng)技術(shù)的應(yīng)用十分廣泛;在汽車等制造領(lǐng)域,可以用于零部件的缺陷檢測(cè)、質(zhì)量控制和實(shí)效分析;在電子行業(yè),可以用于芯片封裝多余物檢測(cè)、封裝工藝改進(jìn)和逆向設(shè)計(jì);在航空航天領(lǐng)域可用于產(chǎn)品質(zhì)量控制、裝配工藝分析;總之,凡是需要觀測(cè)樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的場(chǎng)合都能用到計(jì)算機(jī)斷層掃描系統(tǒng),是一種十分理想的無損檢測(cè)手段。
計(jì)算機(jī)斷層掃描系統(tǒng)常用的CT掃描模式有II代掃描、III代掃描。III代掃描具有更高的效率,但是容易由于校正方法不佳而導(dǎo)致環(huán)狀偽影(所以減弱或消除環(huán)狀偽影是體現(xiàn)CT系統(tǒng)制造商技術(shù)水平的主要內(nèi)容之一);II代掃描效率大約是III代掃描的1/10—1/5,但其對(duì)大回轉(zhuǎn)直徑工件檢測(cè)有益。此外CT系統(tǒng)通常會(huì)具備數(shù)字射線檢測(cè)成像(DR)功能。
計(jì)算機(jī)斷層掃描系統(tǒng)系統(tǒng)的核心性能指標(biāo)包括:
1、空間分辨率:從CT圖像中能夠辨別最小結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)的能力。
2、密度分辨率:從CT圖像中能夠分辨出最小密度差異的能力(通常跟特征區(qū)域大小結(jié)合在一起評(píng)定)。
空間分辨率與密度分辨率的關(guān)系。在輻射劑量一定的情況下,空間分辨率與密度分辨率是相互矛盾的兩個(gè)指標(biāo)。提高空間分辨率會(huì)降低密度分辨率,反之亦然。
對(duì)于普通的計(jì)算機(jī)斷層掃描系統(tǒng)系統(tǒng),其核心性能指標(biāo)只有空間分辨率和密度分辨率;而對(duì)于一臺(tái)高精度測(cè)量計(jì)算機(jī)斷層掃描系統(tǒng)系統(tǒng)而言,除了上述兩個(gè)核心性能指標(biāo)外,還有另外兩個(gè)核心性能指標(biāo):
2、幾何測(cè)量精度:在計(jì)算機(jī)斷層掃描系統(tǒng)圖像上測(cè)得某對(duì)象的幾何尺寸與該對(duì)象真實(shí)尺寸之間的絕對(duì)誤差。
2、密度測(cè)量精度:在計(jì)算機(jī)斷層掃描系統(tǒng)圖像上測(cè)得某對(duì)象的密度值與該對(duì)象真實(shí)密度值之間的相對(duì)誤差。