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簡(jiǎn)要描述:可編程精密勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類(lèi)膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
產(chǎn)品分類(lèi)
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可編程精密勻膠機(jī)
型號(hào):HC150SE
HC150SE可編程精密勻膠機(jī),采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好??捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
特點(diǎn):
l 設(shè)計(jì)緊湊,可輕松放置在手套箱內(nèi)使用。
l HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,耐腐蝕;采用分體式結(jié)構(gòu),易清洗和移動(dòng)。
l 4.3英寸彩色觸屏控制,易學(xué)易用,可精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù),運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示;
l 經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),有效防濺;
l采用高級(jí)PLC程序控制,旋涂速度、旋涂時(shí)間、加速度等工藝參數(shù)可編程,實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂;
l 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);
l 轉(zhuǎn)速、加速度、時(shí)間、真空泵關(guān)/停、自動(dòng)吸片、自動(dòng)釋放均可在觸屏上操作。
l 可設(shè)置用戶(hù)密碼保護(hù)功能;
技術(shù)參數(shù):
l 適用晶元尺寸范圍:?10~150mm;
l 旋涂速度:100~12000rpm;
l 轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;
l 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
l 最大旋涂時(shí)間:3000s;
l 旋涂時(shí)間精度:0.1s;
l 內(nèi)腔直徑212mm,內(nèi)腔采用*的凹面防濺設(shè)計(jì);
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程10組程序,每組程序10步;
l 電源輸入:AC200-230V
可編程精密勻膠機(jī)設(shè)備外形尺寸:長(zhǎng)X寬X高:310X254X250mm
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郵箱:info@analysis-tech.com
地址:北京市海淀區(qū)建材城中路3號(hào)樓程遠(yuǎn)大廈B座606
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