勻膠機/旋涂儀有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。 勻膠機盡管是一款原理比較簡單的實驗室小型儀器,但影響勻膠效果的卻有勻膠速度(speed)、勻膠時間(time)、勻膠加速度(acceleration)、控制精度(accuracy)等因素。其中最重要的就是控制精度(accuracy),沒有控制精度,其他的設置都是虛無。這也是某些品牌勻膠機最致命的問題所在。
安賽斯(中國)有限公司提供的HC系列勻膠機,采用進口電機及觸屏控制系統(tǒng),實現對轉速、時間和加速度的精確控制,轉速調節(jié)精度<1rpm,重復性< 1rpm,實現勻膠過程的高精度和高重復性。
最新升級的HC系列勻膠機有HC150PE,HC160PE,HC220PE等多個型號,滿足不同尺寸晶元的勻膠需求。 |