勻膠機(jī)旋涂儀采用高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，具有高轉(zhuǎn)速、高精度、旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定、涂層（厚度）均勻、操作簡單快速等特點，適用于半導(dǎo)體、硅片、導(dǎo)電玻璃等材料表面的涂覆工藝。勻膠機(jī)旋涂儀可以對不同尺寸（圓片及特殊尺寸）的基片進(jìn)行勻膠，設(shè)備體積小，占用空間少，PLC全自動控制系統(tǒng)保證設(shè)備長時間穩(wěn)定運行，同時觸摸屏軟件為用戶提供友好的操作界面。
勻膠機(jī)旋涂儀有很多種稱謂，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
針對目前勻膠機(jī)旋涂儀市場品牌眾多，良莠不齊現(xiàn)象，筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)旋涂儀技術(shù)服務(wù)的實際經(jīng)驗。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。
從其原理來說，我們可以看出選購勻膠機(jī)旋涂儀需要注意的幾個細(xì)節(jié)“
1、 旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)旋涂儀只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能**標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)旋涂儀雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如：美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機(jī)旋涂儀的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機(jī)旋涂儀做得不錯，他們有通過聯(lián)動機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉(zhuǎn)。
3、 材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)旋涂儀采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。
